MAGNETRON SIÇRATMA YÖNTEMİ İLE KAPLANMIŞ TiN FİLMLERİN YAPISAL, MEKANİK VE TRİBOLOJİK ÖZELLİKLERİ ÜZERİNDE TABAN MALZEME SICAKLIĞININ ETKİSİ

---

Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Erzincan Binali Yıldırım Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2019

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: Erhan Emre BİLGİN

Asıl Danışman (Eş Danışmanlı Tezler İçin): ÖZLEM BARAN

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

Kesici takımların sertliğini ve aşınma direncini önemli derecede artıran Titanyum Nitrür (TiN) sert filmler çeşitli kaplama yöntemleri ile birçok farklı taban malzeme yüzeyine kaplanarak endüstrinin pek çok alanında yaygın olarak kullanılmaktadır. Bu çalışmada, magnetron sıçratma yöntemi kullanılarak, farklı taban malzeme sıcaklıklarında D2 soğuk iş takım çeliğinin yüzeyine TiN filmler kaplanmıştır. Farklı taban malzeme sıcaklıklarının TiN filmlerin yapısal, mekanik ve tribolojik özelliklerine etkisi incelenmiştir. Filmlerin yapısal özelliklerini belirlemek için SEM ve XRD, sertliğini belirlemek için mikro sertlik test cihazı kullanılmıştır. Filmlerin adezyon ve aşınma özelliklerini belirlemek için sırasıyla çizik test cihazı ve pin-on-disk tribometre kullanılmıştır. Taban malzeme sıcaklığının artması ile birlikte artan film kalınlığı ve küçülen tane boyutu gözlemlenmiştir. TiN filmler D2 soğuk iş takım çeliğinin yüzey sertliğini önemli ölçüde artırmıştır. Artan taban malzeme sıcaklığı ile birlikte TiN filmlerin sertliği, adezyonu ve aşınma direnci önemli ölçüde artmıştır.