Fe2O3/FTO Gaz Sensörünün Üretimi ve Karakterizasyonu

---

Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Erzincan Binali Yıldırım Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, ELEKTRİK VE ELEKTRONİK MÜHENDİSLİĞİ ANABİLİM DALI, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2022

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: HUSSEIN JANABI

Danışman: Memet Ali Yıldırım

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

Fe2O3 ince film, Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction (SILAR) yöntemi ile oda sıcaklığında 30 SILAR turunda flor katkılı kalay oksit (FTO) kaplı cam taban malzeme üzerine başarılı bir şekilde büyütüldü. İnce filmin yapısal, morfolojik, kimyasal bileşen ve CO gaz algılama özellikleri sırasıyla XRD, SEM, EDAX ve gaz ölçüm sistemi ile incelendi. XRD ve SEM çalışmaları, ince filmin polikristal yapıda olduğu ve hematit (α-Fe2O3) fazda kristalleştiğini, FTO taban malzeme yüzeyine yoğun bir kaplamanın ve farklı boyutta bölgesel yığılımların olduğunu gösterdi. EDAX analizi, filmin yüzeyinde Fe ve O elementlerinin varlığını ve demir oksit oluşumunu doğruladı. Fe2O3/FTO sensörünün statik ve dinamik CO gaz algılama ölçümleri yapıldı. Sensörün duyarlılığı çalışma sıcaklığı ile 285 oC'ye kadar arttığı ve optimum çalışma sıcaklığının 285 °C olduğu görüldü. 285 °C çalışma sıcaklığında, sensörün duyarlılık değeri 5 ppm CO gazı için %10 ve 100 ppm CO gazı için %47,8 olarak belirlendi. Sensörün yanıt ve geri dönüş zamanları hesaplandı. Ayrıca, sensörün tekrarlanabililirlik, kararlılık ve kontrol grubu gazları için seçicilik ölçümleri yapıldı.