RF magnetron sıçratma yöntemi kullanılarak Bi2O3 ince film büyütmede alttaş ve güç değişikliğinin filmlerin yapısal özelliklerine etkisi

Şahin N., Akaltun Y., Gür E., Sarıtaş S.

2nd International Eurasian Conference on Science, Engineering and Technology (EurasianSciEnTech 2020), Gaziantep, Türkiye, 7 - 09 Ekim 2020, ss.1064-1069

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Gaziantep
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.1064-1069
  • Erzincan Binali Yıldırım Üniversitesi Adresli: Evet

Özet

Radyo frekansı(RF) reaktif magnetron sıçratma(sputter) ile bizmut oksit ince film büyütme işlemi gerçekleştirildi ve bu işleme güç ve alttaş etkisi incelendi. Bizmut oksit ince filmler cam, silisyum ve indiyum kalay oksit(İTO) alttaş üzerine farklı güç seviyelerinde biriktirildi. 40W, 80W ve 120W güçlerde biriktirilen ince filmlerin yapısal ve morfolojik özellikleri ve farklı alttaşların birikmeye etkisi incelendi. İnce filmlerin analizi için X-ray diffraction(XRD), taramalı elektron mikroskobu(SEM) ve spektroskopik elipsometre kullanıldı.