RF magnetron sıçratma yöntemi kullanılarak Bi2O3 ince film büyütmede alttaş ve güç değişikliğinin filmlerin yapısal özelliklerine etkisi
2nd International Eurasian Conference on Science, Engineering and Technology (EurasianSciEnTech 2020), Gaziantep, Türkiye, 7 - 09 Ekim 2020, ss.1064-1069, (Tam Metin Bildiri)
- Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
- Basıldığı Şehir: Gaziantep
- Basıldığı Ülke: Türkiye
- Sayfa Sayıları: ss.1064-1069
- Erzincan Binali Yıldırım Üniversitesi Adresli: Evet
Özet
Radyo frekansı(RF) reaktif magnetron sıçratma(sputter) ile bizmut oksit ince film büyütme işlemi
gerçekleştirildi ve bu işleme güç ve alttaş etkisi incelendi. Bizmut oksit ince filmler cam, silisyum ve indiyum
kalay oksit(İTO) alttaş üzerine farklı güç seviyelerinde biriktirildi. 40W, 80W ve 120W güçlerde biriktirilen
ince filmlerin yapısal ve morfolojik özellikleri ve farklı alttaşların birikmeye etkisi incelendi. İnce filmlerin
analizi için X-ray diffraction(XRD), taramalı elektron mikroskobu(SEM) ve spektroskopik elipsometre
kullanıldı.