SILAR, Spin Coating ve Sputter Tekniğiyle Büyütülen PZT İnce Filmlerin Yapısal, Yüzeysel ve Optik Özelliklerinin İncelenmesi


Karacalı T.(Yürütücü), Özden M.

Diğer Resmi Kurumlarca Desteklenen Proje, 2021 - 2023

  • Proje Türü: Diğer Resmi Kurumlarca Desteklenen Proje
  • Başlama Tarihi: Aralık 2021
  • Bitiş Tarihi: Temmuz 2023

Proje Özeti

Proje kapsamında farklı yöntemler kullanılarak farklı altlıklar üzerine PZT (kurşun zirkonat titanat) filmler büyütülmesi planlanmaktadır. PZT sahip olduğu özellikler (piezoelektrik, piroelektrik ve ferroelektrik özellikler) dolayısıyla pek çok alanda sıklıkla kullanılan bir malzemedir. Çalışma kapsamında öncelikle dönel kaplama ve püskürtme yöntemleri kullanılarak çeşitli altlıklar üzerine PZT filmler büyütülecektir. Elde edilen filmlerin yapısal, yüzeysel ve optik ölçümleri alınarak malzeme hakkında ayrıntılı bilgiye ulaşılacaktır. Daha sonra bahsi geçen iki yöntemden daha hesaplı ve kolay ulaşılabilir bir yöntem olan SILAR yöntemiyle PZT filmler üretilmeye çalışılacaktır.

Altlık olarak mikroskop camı ve gözenekli silikon (porous silicon) kullanılacaktır. Yapılan incelemeler sonucunda özellikle gözenekli silikon üzerine PZT büyütme işlemine literatürde çok az rastlanmıştır. Hem cam hem de gözenekli silikon malzemeyi belirli bir yönde büyümeye zorlamayan, kendi doğal yapısında büyümesine imkân tanıyan altlıklardır. Bu nedenlerden ötürü altlık olarak cam ve gözenekli silikon üzerinde çalışılmasına karar verilmiştir.

Elde edilecek numunelerin yüzeysel özelliklerinin ölçülebilmesi için SEM ve AFM, yapısal karakterizasyonu için XRD ve XPS, optik özellikleri için soğurma, fotolüminesans ve mikro Raman spektroskopisi ölçümleri alınacaktır. Alınan ölçüm sonuçları yorumlanarak üretilen PZT filmlerin elektronik cihaz potansiyelinin ortaya çıkarılması hedeflenmektedir.

Ayrıca bu çalışmada doktora öğrencisi, araştırmacı olarak görev alacak ve doktora tezini bu proje kapsamında hazırlayacaktır